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HORIBA研究級(jí)全自動(dòng)橢偏儀UVISEL 2

HORIBA研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀UVISEL概述

20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。即使在透明的基底上也能對(duì)超薄膜進(jìn)行樶精que的測量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。

技術(shù)參數(shù):

可選光譜范圍:

* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)
* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )
* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )
* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )
* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
* 多種實(shí)用微光斑尺寸選項(xiàng)
* 探測器:分別針對(duì)紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
* 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:多種樣品臺(tái)可選
* 自動(dòng)量角器:變角范圍35° – 90°,全自動(dòng)調(diào)整,樶小步長0.01°

HORIBA研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀UVISEL特點(diǎn)

★  50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
★  具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
★  具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測
★  自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
★  配置靈活


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